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大国崛起离不开净化技术发展

洁净室 净化工程.jpg

中美贸易战、孟晚舟事件、南海台海军事、中美俄军备竞赛等等国际较大政治问题都围绕大国崛起展开,笔者从微观的角度阐明:净化技术发展对于国家经济的关键作用,从而得出大国崛起离不开净化技术发展的观点。

空气分子污染作为IC工厂所关心的问题于20年前最先由日本人提出,近年来,世界IC技术发展迅速,IC芯片日益微型化。AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响成品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净工程设计与施工建设的主流趋势。目前,国内的洁净工程企业中已经开始从事此方向的研究,在该领域比较领先的企业有亚翔集成,在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的前列,而中国电子工程设计院则在防微震方面技术领先。

我国使用的0.1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵,0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例,这与集成电路工艺不断更新,产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应,严重制约了大规模集成电路技术的发展。美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项最新的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中,采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境,把投资比例压缩到高级别的微环境,消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。

据中国电子专用设备工业协会统计,我国主要八家最大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元,还不足1亿,1993年达到14495万元,占国际市场销售额的0.34%。但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展,我国潜在巨大的洁净技术产品市场,以每年40%-50%的增长速度在增加。


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